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ULPA過濾器特點及相關知識講解

發布時間:2024-03-13 07:52

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  ULPA過濾器特點及相關知識講解

  ULPA過濾器全稱為超高效空氣過濾器,或稱超低穿透率空氣過濾器,對0.1~0.2μm的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過濾效率達到99.999%以上。ULPA超高效過濾網,ULPA是在HEPA的基礎上經進一步加強了HEPA的過濾效果,ULPA對0.3微米以上的微粒子的過濾效率達到99.9999%以上。ULPA與HEPA相比,濾料結構更緊湊、過濾效率更高, 但同時, 阻力也更高。下面由北方濾器為大家講解ULPA過濾器特點及相關知識:

ULPA過濾器

  [一]ULPA過濾器特點:

  濾芯用超細玻璃纖維濾料經打膠折疊而成,外框可選用夾層木板、鍍鋅銅板、不銹鋼板及鋁合金板,通過聚氨酯膠緊密粘接,具有質量輕、透氣量大,集塵率高達99.95-99.999%,且耐堿,耐高溫。

  [二]ULPA過濾器用途:

  適用于10000級-100級潔凈系統,空調系統,因此產品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫藥線路、照相機和光學儀器、精密機械等多個領域。

  [三]ULPA過濾器測試方法及其特點:

  1)粒子計數法

  此法是以離散粒子計數器 (DPC) 作為檢測儀器,測試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質,選擇范圍較寬,常用多分散氣溶膠,如 DOP 或其替代的 DOS 等液態物質所發生的。此法靈敏度較高,目前主要用于 ULPA 過濾器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的測 試,當然亦可用于 HEPA 過濾器的測試。替代 DOP 法當已是趨勢。

  2)DOP法

  此法是以光度計作檢測,測試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液態物質所發生的。

  3)鈉焰法。

  此法采用火焰光度計,它對 NaCl 燃燒的火焰色度 ( 相當于 NaCl 的質量 ) 作響應, NaCl 質量粒徑分布在 0.02-2μm 間或更狹一些。其質量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm 間。此法靈敏度低,且 NaCl 對微電子工廠的產品質量有害,因此國外早已不用。

  4)MPPS法

  過濾器測試時,需先測定濾料的 MPPS :另外,其對過濾器效率的測試不是采用整體測試,而是掃描測試每一處的局部穿透率然后統計處理得出穿透率及效率。大允許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多。

  [四]ULPA過濾器誤差及控制

  (1)氣溶膠濃度變化會影響測試結果,因此其濃度均勻及穩定亦是必須保證的,常需通過混勻器及多點測試并調整進行控制。

  (2)流速,除粒徑外是影響過濾器效率的較重要的因素。因此必須使流速均勻并穩定。常需通過測定并調整進行控制。

  (3)氣溶膠粒子在測試系統內會沉積,會影響測試結果,需采用盡量短的管路并合理布置。

  (4)在用冷發的氣溶膠時,氣溶膠在噴嘴內進行機械破碎時會帶靜電 ( 熱發時不存在 ) ,因此需要設中和器加以中和,以免粒子沉積。

  (5)采用粒子計數器作檢測時,需注意避免重疊誤差需采用稀釋器及本底噪音值的控制并及時校正。

  (6)管路內壁由于氣流流動時會積聚靜電,影響氣溶膠粒子沉積,因此需采用金屬管道并接地。

  (7)粘度、壓降、溫濕度、振動以及非等動力采樣都會在條件下對測試產生影響,一般有的關系不大,有的易控制或在計算時加以修正。

  ULPA過濾器在各個行業使用都非常,它適用于10000級-100級潔凈系統,空調系統,因此產品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫藥線路、照相機和光學儀器、精密機械等多個領域。

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ULPA過濾器產品特點及使用范圍

更新時間:2024-03-13 07:52

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